二手 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293636250 待售

OXFORD PlasmaPro NGP 1000是一款高精度的等離子體Asher/Etcher，旨在在蝕刻和灰化應用中提供非凡的效果。它利用低壓中頻電源提供高度穩定的功率輸出。此外，其先進的射頻發電機和Paschen定律穩定技術確保了卓越的蝕刻和灰化性能。NGP 1000配備了直觀的控制設備，便於操作，並由綜合安全系統進行安全保護，以防止危險。NGP 1000能夠產生深度蝕刻，橫向分辨率極高，蝕刻輪廓均勻，縱橫比平滑，重復性強。高精度蝕刻器與閉環質量流控制器集成，用於對腔室壓力的精確控制，從低真空到超高真空，允許精確的蝕刻過程。它還具有一個腔室溫度控制單元，在整個蝕刻和灰化過程中保持一個均勻的溫度。此外，NGP 1000的腔室尺寸能夠容納直徑不超過12英寸的基板。該裝置的正向射頻偏置具有可選的延遲時間和多脈沖包絡的仿真能力，為不同的蝕刻應用提供了完美的選擇。另外，背面基板加熱機可用於抑制不良顆粒的產生，而集成高精度機器人則可用於執行精密的前、後蝕刻操作。NGP 1000的均勻離子通量輸送工具保證了最佳的蝕刻深度和輪廓，以及一致的結果再現性。此外，多用途蝕刻器與一系列氣體混合物兼容，包括氙、氟化物和碳。這確保NGP 1000可用於廣泛的應用，從基本蝕刻到金屬和非金屬材料的深層蝕刻。總體而言,NGP 1000是工業環境中高精度、可重復蝕刻和灰化應用的理想選擇。