二手 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293765806 待售
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ID: 293765806
晶圓大小: 8"
優質的: 2012
PECVD System, 8"
Load Locked Chamber
System PC, Keyboard, Mouse
X20 PLC
Chamber heating kit
Dual frequency RF
HF RF Generator
LF RF Generator
490 mm Diameter Aluminum Lower Electrode
Gas-shock assisted chamber lift mechanism
Dry pump
Load lock vacuum pump
Operations manual and documentation
X20 External Gas Box
2012 vintage.
OXFORD PlasmaPro NGP 1000是一款先進的蝕刻器和asher,適用於各種材料的應用。它具有強大的1 kW光源,能夠對直徑不超過4英寸的晶片進行精確、高效的蝕刻和粉刷。此外,NGP 1000還具有快速射頻源切換功能,可實現進程之間的無縫過渡,從而適合許多不斷增加的蝕刻/灰化需求。NGP 1000的溫度範圍為-50°C至+50°C,使其能夠蝕刻和粉刷各種厚度達1.6mm的材料。此外,它還擁有業界領先的400MHz頻率和0.9 s脈沖分辨率,可提高蝕刻過程的精度和準確性。先進的硬件還允許精確的氣體壓力控制,從而實現更一致的過程和更好的質量結果。NGP 1000堅固高效的設計允許從快速蝕刻到低溫處理的廣泛應用。該設備還包括一些先進的功能,如並行處理能力和實時過程監測,這使得它非常適合高度指定的蝕刻和灰化需求。此外,NGP 1000配備了集成的FOUP晶圓載體,使其一次最多可以裝載和處理八個晶圓。NGP還與OXFORD System Control軟件完全兼容,該軟件為用戶提供了對該單元各種功能和參數的完全控制。此軟件允許用戶創建和存儲眾多流程配方,並實時監控結果。此外,該軟件還具有一系列功能,可輕松監視和控制機器以及安全存儲配方數據。總體而言,OXFORD PLASMA PRO NGP1000是一款專業的蝕刻器和asher,配備了強大的1千瓦光源、精確的氣壓控制和先進的硬件,使其適合多種應用。它還包括許多高級功能,如並行處理、FOUP晶圓載體和Oxfords的Tool Control軟件,使NGP 1000成為精確蝕刻和灰化需求的理想選擇。
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