二手 PANASONIC PC30B-HS #293615437 待售

PANASONIC PC30B-HS是一種高效、高速的半導體器件制造蝕刻和灰化設備。它具有很大的貨架容量,每次工藝運行最多可容納200個8英寸（或12英寸）晶圓。PC30B-HS由五個獨立的過程室組成，這些過程室連接在一起，形成一個具有單個控制器的大型系統。這些工作間采用水平/垂直方式設計,可利用優化的工作區獲得最大容量。每個加工室以垂直方向加載，每個室有單獨的加熱器。該單元提供了一個選擇的過程程序，單一配方函數，以及一系列控制參數直接在機器內部編程。這允許最大程度地控制過程,從而實現最佳蝕刻或灰化結果。此外,用戶還可以訪問一套遠程操作和預測性維護工具,這些工具可以立即檢測到任何潛在的故障,並將任何必要的操作通知操作員。在操作參數方面，PANASONIC PC30B-HS能夠在高達2000度的設定溫度下進行蝕刻和灰化。操作壓力可在0到0.10MPa之間調節，或1.0MPa用於蝕刻。處理時間可設置為1到999秒,蝕刻時可設置為4999秒。此外，該工具還配備了自動氣體輸送資產，能夠準確控制過程氣體的流動，從而實現安全、清潔和一致的過程。為了進行用戶監控,PC30B-HS配備了一個高級用戶界面,該界面顯示當前進程參數,並且在滿足某些閾值時可編程為觸發警報。這與實時溫度監測和內部模型診斷相結合，保證了一致和最優的灰化結果。此外，該設備符合J-STD-004，這是一個行業公認的標準蝕刻和灰化安全和質量控制。總體而言，PANASONIC PC30B-HS是一個可靠、高效的蝕刻和灰化系統，能夠提供一致和最優的工藝。其直觀的用戶界面，結合設備先進的監控系統保證了最優流程。因此，PC30B-HS是任何半導體器件制造設施的理想選擇。