二手 PHOENIX RE-200 #9042770 待售

PHOENIX RE-200
ID: 9042770
晶圓大小: Up to 5"
優質的: 1998
Rotary etcher, up to 5" (2) Tanks (450 x 280 x 220 mm) Air 4 at., water 40 1/min, 3.5 at. 220 V / 30 A / 50 Hz 1998 vintage.
PHOENIX RE-200是為各種工業和研究工作及實驗室操作而設計的高級蝕刻器/asher。這種先進的設備結合了蝕刻和灰化功能,在輕松的制造過程中提供高效可靠的結果。該系統采用雙室設計,並配有鎖載裝置,使蝕刻和灰化能夠同時或連續進行。RE-200的高效設計包括6個全方位提升銷,允許快速裝載和卸載,而無需主動氣體輸送或基板夾具。腔室溫度控制,溫度穩定,確保均勻蝕刻。汽化室采用可移動汽化器,維護成本低.蒸發器還具有低能耗和處理大型基板的能力。PHOENIX RE-200的蝕刻功能包括內存設備和邏輯設備,能夠微調參數以改進制造結果。等離子體生產裝置和自動供氣裝置能夠使用各種氣體進行精確的蝕刻和灰化。該機還可支持真空烘烤和真空啟動,用於晶體管制造。RE-200的灰化能力利用強大的溫度控制射頻發生器去除灰化室內的有機物質。排水和副產品是自動化的,蝕刻氣體凈化能力允許無汙染殘留物。該工具還提供四級抽水,用於灰化過程中的最終真空控制。PHOENIX RE-200具有便攜性和易用性,具有單相電源連接,運行可靠。該資產還具有低壓操作和減少電暈氣體消耗和廢物產生的特點。該型號提供液晶顯示屏和顏色編碼的觸摸屏按鈕,便於操作和監控過程。設備還符合CE和CSA標準,確保符合最高安全和質量標準。
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