二手 PLASMA ETCH BT-1/C #9328696 待售

PLASMA ETCH BT-1/C是為各種等離子體蝕刻應用而設計的高性能asher和蝕刻器。根據應用程序的不同,此設備有多種尺寸可供選擇。設備包括等離子體源、多個氣源和計算機控制的等離子體室。等離子體源由強制空氣射頻發電機供電。等離子體源直接等離子體產生一個具有低電位變化的高度穩定的等離子體。這為蝕刻提供了最佳效果。包括多種氣源，提供氧氣、氫氣、氮氣和其他等離子體氣體。計算機控制的氣體輸送系統精確調節氣體流量、壓力和腔室溫度。射頻發生器將射頻電源提供給單個電極,從而在外殼中產生均勻的電場。通過控制面板對工藝參數進行精確調節,並具有智能界面,包括自動調節、報警和安全功能。該室具有良好的熱控制、均勻的等離子體產生和整體陰極電弧源.氣體分配裝置有多個入口和出口，在整個過程中保證統一的熱控制。外殼幾何是專門為促進湍流，保證均勻蝕刻深度和蝕刻速率而設計的。該室壁設計和測試的高性能，提供腐蝕和耐化學性。墻壁也被設計成最大限度地減少等離子體沈積在墻壁上，導致清潔過程。設計還旨在減少EMI,這在涉及敏感電子元件的現代應用中是必需的。該機還采用計算機控制的真空工具來控制腔室壓力。這樣可以確保最佳的壓力平衡,從而實現可靠的蝕刻性能。該資產還包括用於精確過程控制的集成質量流控制器。集成模型監控溫度控制和蒸氣壓力，以及氧氣和氙氣水平。PLASMA ETCH BT-1/C是一種高性能的蝕刻器和asher，其設計提供精確的，可重復的結果。該BT-1/C具有多種氣源、自動化控制和堅固的設計，是各種等離子體蝕刻應用的理想工具。