二手 PLASMA ETCH PE-100 #9281671 待售

PLASMA ETCH PE-100是一種用於半導體器件制造的蝕刻和灰化設備.它由PLASMA ETCH, Inc.開發，常用於光刻的生產。該系統設計用於處理從4英寸（10厘米）到6英寸（15厘米）不等的晶圓尺寸。它是一種多用途蝕刻器/灰化器，能夠在一個單元中全部進行幹蝕刻、灰化和薄膜沈積過程。該機提供高速均勻性，這是通過使用內置的雙源工藝室實現的，該室可用於氧氣等離子體蝕刻或灰化。可以對該工藝室進行調整以優化蝕刻速率、選擇性和均勻性。此外，PE-100還擁有先進的真空技術，為高速、高均勻蒸氣蝕刻和灰化提供了優良的抽水和工藝系統，結果一致。它還能夠進行精確的溫度控制，從而得到均勻和受控的基板表面光潔度。它甚至可以用於結晶和碳緩慢蝕刻等先進應用。PLASMA ETCH PE-100還具有自動化的負載鎖定機制，可以方便地將晶片送入和送出工具，以實現快速的周轉時間。它還具有集成的安全功能，如低流量警報和停止安全開關，以防止發生任何事故。它還設計方便操作和維護,易於查看控制和數據視圖。PE-100是一種經濟高效且非常可靠的資產，能夠提供最佳的結果，使其適用於半導體器件制造。它具有精確、高效的蝕刻和灰化性能,同時提供多種材料處理功能。