二手 PLASMA ETCH PE-100 #9402281 待售

ID: 9402281
Plasma system Running hours: 15 EDWARDS Vacuum pumps No chiller.
等離子體蝕刻PE-100是一種適合於各種應用的蝕刻器和灰化器。它采用不銹鋼主櫃和透明PMMA門構成,營造出美觀易用的設計。該系統配有風冷電阻匹配離子源,為底物提供穩定可靠的等離子體。PE-100使用400瓦電源,可提供多種清潔和蝕刻性能功能。以其寬廣的溫度範圍,可以輕易蝕刻矽、玻璃、絕緣體上矽(SOI)、聚合物等材料。它提供了廣泛的參數,允許量身定制的過程來滿足您的特定要求。這些參數包括壓力、氣體混合物、射頻功率和蝕刻速率。PLASMA ETCH PE-100的觸摸屏面板用戶友好性強,操作方便。它采用兩室設計,允許一個室專用於單一應用,而另一個室仍可用於其他工藝。最先進的渦輪泵系統允許更快的腔室循環時間,允許更高效的處理和更少的停機時間。該腔室由優質不銹鋼制成,提供出色的防腐、安全性和耐用性。這允許長期使用,而且維護和保養最少。PE-100提供了良好的過程重復性和緊密相關的模擬結果。它提供了對所有參數的完全控制,從而為蝕刻過程提供了最大的穩定性和可預測性。這對於光刻面罩的制造和其他敏感任務特別有用。該系統還具有緊湊的設計,非常適合教室和空間有限的其他空間。PLASMA ETCH PE-100是一種功能強大且可靠的蝕刻器/asher,可用於多種應用。它具有廣泛的參數、直觀的用戶界面和較小的占地面積,是工程師、制造商、教育工作者和學生的理想選擇。
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