二手 PLASMA ETCH PE-100 #9402380 待售

PLASMA ETCH PE-100是一個自動蝕刻和灰化處理單元，旨在在蝕刻和灰化相關過程中提供高精度和重復性。它配置了三個處理室和一個用戶友好的觸摸屏控制界面。ETCH PE-100的主要目標是為半導體工業中的晶圓制造提供高端、高效、經濟、可靠的蝕刻和灰化工藝。此外，它還配備了強大的控制系統，在蝕刻和灰化過程中提供了更高的精度和可重復性。晶圓在蝕刻過程中的狀況將決定蝕刻的程度以及該過程是否會停止或繼續。這是連續和精確的監測與獨特的「晶圓平滑分析儀」納入ETCH等離子體蝕刻PE-100單元。這種最先進的裝置能夠連續測量晶圓在被蝕刻時的表面均勻性和粗糙度。ETCH PE-100的灰化操作也提供了可靠性和可重復性。等離子體粉碎器用高溫等離子體處理晶片，以快速有效地去除聚合物基殘留物。這對於制造超細粒子、納米粒子以及半導體工業中微電子產品的其他先進部件至關重要。通過等離子體蝕刻工藝產生的高溫可以被精確地反復調節，確保樣品經歷均勻的蝕刻或灰化。電源外包是可調的,允許更快的重復循環,「實時溫度控制」可確保保持準確和穩定的溫度。ETCH PLASMA ETCH PE-100還提供高度自動化的自我診斷,允許高度的預防性維護,提供了一種智能的方式來減少維護和提高性能時間,以及監控一致流程的運行性能。ETCH PE-100的其他特點包括根據具體要求可選擇各級蝕刻和灰化配方，連接多個處理單元的蜂窩模式，以及一整套可消耗物品，以確保高性能晶圓處理。