二手 PLASMA ETCH PE-200 #9103920 待售

等離子體蝕刻PE-200等離子體蝕刻設備是一種先進的等離子體蝕刻器/灰化器，設計用於平面電介質層的蝕刻/灰化。該系統用於電子工業中低體積等離子體相關工藝。該單元能夠在蒸氣相蝕刻、蒸氣相灰化、表面清潔、平板蝕刻等應用中提供精度、均勻性、可重復性、準確性和清潔性。利用多級、低壓、低功率的蝕刻工藝,PE-200可以在各種材料上實現非常均勻的蝕刻速率和精確的蝕刻深度。等離子體蝕刻PE-200提供了一個可以容納200毫米晶圓或大塊的大面積腔室。采用高性能電極控制，確保工藝結果的均勻性和重復性。此外,PE-200還提供精確的控制,在處理過程中具有壓力、溫度和功率監控等功能。該機器還包括一個先進的氣體分散工具，以便更有效地將蝕刻氣體輸送到晶圓堆棧。資產的人性化設計簡化了操作，配有一個大型彩色液晶觸摸屏顯示屏，可方便編程和監控各種工藝參數。控制模型包括一個經常使用的流程配方以及保存、編輯、傳輸、召回和恢復數據的能力的數據庫。PLASMA ETCH PE-200還配備了一個排氣過濾器設備，以降低排氣顆粒水平和防止材料積聚，以及一個智能氣體冷卻系統，以更好的氣體均勻性和溫度控制。PE-200為包括大型組件在內的最具挑戰性的蝕刻/灰化應用程序提供卓越的性能和控制。對於任何需要精確蝕刻/灰化過程以及節省成本和提高效率的環境,該單元都是一個極好的選擇。