二手 PLASMA SCIENCE PS 0500D #142226 待售

ID: 142226
晶圓大小: 12"
Parallel plate etcher, 12" (8) Stacks.
PLASMA SCIENCE PS 0500D是一種高質量的蝕刻器/asher,旨在實現廣泛的精密微加工和精加工任務。利用先進的蝕刻/灰分技術,PS 0500D產生了詳細的特征和復雜的表面飾面。該蝕刻器利用高密度等離子體(HDP)電弧智能地在各種材料基板上創建穩定的微米級蝕刻/灰分工藝。該單元提供了廣泛的蝕刻/asching參數和電壓/頻率控制,以確保精確和可重現的結果。除了其質量蝕刻/灰分功能外,PLASMA SCIENCE PS 0500D還具有利用同軸或三磁場(TMF)放電配置中的多種氣體的強大通用性。可以根據材料基板、幾何形狀和其他因素來調整蝕刻/asching過程。結合其先進的HDP電弧,PS 0500D經過精心設計,可提供盡可能高質量的微加工和精加工。最後,PLASMA SCIENCE PS 0500D提供了無與倫比的安全性和便捷性.它采用自動調節器設計,當機器檢測到潛在危險氣體泄漏或溫度相關問題時自動關閉機器。此外,PS 0500D帶有易於使用的數字控制系統,允許每個蝕刻/asching過程的精確和可重現的參數。這些特性使得PLASMA SCIENCE PS 0500D一個極其可靠和高效的蝕刻器/asher。
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