二手 PLASMA ST 350 #293774484 待售

PLASMA ST 350是為先進半導體制造工藝而設計的高性能蝕刻/asher設備。這款尖端設備結合精密蝕刻和灰化能力，滿足半導體行業領先研發需求。ST 350註重過程的可重復性、均勻性和可靠性,是一種廣泛應用的通用工具,包括蝕刻、降序、抗剝離和清潔過程。PLASMA ST 350的核心是其先進的PLASMA生成和控制系統。該裝置采用高功率射頻發電機，可產生穩定的等離子體，用於精確的材料去除和表面改造。這種先進的PLASMA源使機器能夠在各種基材上實現高蝕刻速率和均勻蝕刻輪廓，包括矽、二氧化矽、氮化物和聚合物。該工具的腔室由高質量的材料制成，以確保最小的顆粒汙染和最大的工藝純度。該室配有氣體輸送系統，可精確控制工藝氣體和流速，確保每個應用的最佳工藝條件。該室還具有溫度控制功能，以保持一致的工藝條件，防止高溫過程中基板損壞。ST 350提供了一系列的蝕刻和灰化能力，包括反應性離子蝕刻（RIE）、等離子體蝕刻和微波等離子體灰化。這些功能使用戶能夠以高選擇性和對基板的最小損害實現精確和受控的物料去除。該資產還具有自動端點檢測模型,該模型提供有關流程進度的實時反饋,從而能夠精確控制蝕刻深度和一致性。PLASMA ST 350的關鍵特性之一是其用戶友好的界面和軟件控制設備。該系統配備了觸摸屏監視器，使操作員能夠輕松實時監控和調整流程參數。軟件控制單元為各種應用程序提供預先編程的配方,並靈活地創建針對特定研究需求的自定義流程。除了先進的技術能力外,ST 350的設計還考慮了生產力和成本效益。該機器采用高通量設計,能夠快速處理多個樣品,最大限度地減少停機時間,並最大限度地提高生產效率。該工具還具有較低的擁有成本,可消耗部件最少,維護要求簡單易行。總體而言,PLASMA ST 350是一種最先進的蝕刻器/asher資產,為各種半導體應用程序提供先進的PLASMA處理功能。憑借其精確的控制、可靠性和多功能性，ST 350是半導體制造商、研究機構和希望留在半導體加工技術前沿的先進技術開發實驗室必不可少的工具。