二手 PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV #9068922 待售

PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV是為半導體和MEMS器件制造設計的全自動蝕刻和灰化設備。系統配備了最先進的環境控制站，允許用戶精確調整流程參數。該機的設計保證了精確的溫度控制、精確的流量控制以及用於精確蝕刻和灰化過程的氣體輸送。該單元由三檢測器、32通道和32位實時嵌入式處理器組成,可實時監控和調整過程。機器最多可操作16個蝕刻/蝕刻/烘烤/灰分和16個清潔/蝕刻/蝕刻和0-16個清潔/烘烤/烘烤烘烤周期，使用戶能夠快速、精確地執行MEMS設備制造所需的過程。該工具還具有許多過程控制選項,使用戶能夠精確控制過程參數,如壓力、溫度、流量和氣體成分。此外，資產能夠通過用戶創建的流程配方自動控制參數。其先進的實時流程監控功能讓用戶能夠連續實時監控和調整流程。該模型可用於進行包括濕蝕刻、幹蝕刻和物理氣相沈積在內的各種去除材料的蝕刻和灰分工藝。該設備提供了卓越的工藝控制,提高了均勻性,縮短了周期時間.此外,它的高精度控制和可重復性使其成為MEMS設備的理想選擇。該系統還提供了廣泛的安全功能，包括逆流和過壓保護、過溫保護以及在斷電時自動關閉。其內置的自校準特性進一步提高了機組的精度。憑借其符合人體工程學的設計和用戶友好的界面，該機器為執行蝕刻和灰化過程提供了可靠高效的平臺。DES 206-254AV蝕刻和灰化工具非常適合半導體和MEMS器件的制造，提供精確的過程控制和改進的均勻性。其先進的安全功能提供了最大的保護,而直觀的界面使資產易於使用。該模型具有快速的工藝速度和可重復的結果，是一種可靠且經濟實惠的蝕刻和灰化工藝選擇。