二手 PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV #9280793 待售

PLASMA SYSTEMS DES 206-254AV etcher/asher是一種專用於工業加工的幹式蝕刻器，用於蝕刻和灰分專用材料。它能夠加工有機、金屬和介電材料，具有嚴格的精度和可重復性，為許多工業應用提供了工具。該設備圍繞等離子體源設計，產生高壓電能，分解等離子體室內的氣體分子，以提供反應性原子和分子的組合，蝕刻或燒蝕材料。該系統提供對蝕刻速率、蝕刻深度、蝕刻均勻性和其他參數的高度精確控制。該單元由四大部件組成，包括電源、氣體輸送機、真空室和樣品支架。電源是二極管泵浦的頻率增加了三倍的YAG激光器，在3.75 μ m的波長下產生高達100瓦的功率。激光由一組專門設計的透鏡聚焦，氣體通過透鏡進入腔室，產生高功率的等離子體。氣體輸送由氣體質量流控制器提供，使操作員能夠精確計量被添加到腔室的氣體量，從而控制蝕刻速率等特性。真空室為圓柱形不銹鋼室，直徑254mm，深度206mm。腔室設有法蘭真空端口，允許腔內高度真空控制，並提供高度可重復的蝕刻或灰化環境。室內有一個掃描電子顯微鏡，連接到氣體質量流控制器，進一步允許精確控制蝕刻速率和其他參數。樣品支架是一個機械手臂，由一個可調電樞固定到位，它允許操作員在等離子體腔內精確定向樣品。采樣器支架采用陽極氧化鋁制成，提供堅固輕巧的結構，具有很高的耐熱性。工具的控制電子設備可幫助移動樣品支架,從而實現手臂的精確移動和樣品的精確蝕刻。DES 206-254AV 蝕刻器/asher是一項全面的蝕刻和燒蝕資產,為許多工業和研究應用提供高性能。通過提供對蝕刻速率、蝕刻深度和蝕刻均勻性的精確控制,該模型能夠為廣泛的工業過程提供卓越的結果。