二手 PLASMA SYSTEMS DES-206254-AVE3 #9280796 待售

PLASMA SYSTEMS DES-206254-AVE3是一種工業蝕刻器和灰化器，常用於大規模生產應用。設備由兩個主要部件組成，一個蝕刻室和一個asher室，每一個都是專門為執行單獨但相關的過程而設計的。蝕刻室的工作原理是創建真空，然後引入反應性氣體（如氯）和等離子體源（如磁控管）。這種氣體和等離子體能量的結合導致電離過程發生，將材料分離成元素成分。此過程會導致基板上的材料從表面移除（或蝕刻）。灰化室的工作原理是引入諸如氮氣或氧氣等反應性氣體和等離子體源。這種氣體和等離子體能量的結合導致燃燒過程發生，分解材料並留下幹凈的表面。此過程用於清潔和制備基板,以便為下一個過程做好準備。DES-206254-AVE3還具有一些附加功能,例如可調節壓力系統、溫度控制單元和一些安全功能,以防止氣體泄漏和電火花等情況。此外,還可以對機器進行編程,以執行可編程序列中的多個進程,從而使用戶能夠自動執行蝕刻和灰化過程。PLASMA SYSTEMS DES-206254-AVE3是為大型工業應用而設計的可靠、堅固、高效的工具。它是一種多功能機器，可用於各種蝕刻和灰化過程。此外，它的可編程特性和可調節的壓力和溫度系統使得這臺機器非常適合復雜的多步操作，幾乎適用於任何生產應用。