二手 PLASMA SYSTEMS DES 212 #9111271 待售

PLASMA SYSTEMS DES 212
ID: 9111271
優質的: 1981
LTA Systems 1981 vintage.
PLASMA SYSTEMS DES 212是專門為微型和納米級應用而設計的蝕刻器和asher設備。它是一個多功能系統,允許用戶以超細厚度蝕刻、粉刷和/或沈積材料。PLASMA SYSTEMS DES-212由主處理器單元組成,主處理器單元包含一個中央處理器,另外還有四個可獨立於處理器單元使用的外圍設備單元。這些外圍設備是噴頭、PMMA和靜電卡盤。每個單元都有一個特定的功能可供處理。處理器單元包含一個微控制器板和一個圖形用戶界面(GUI),允許用戶輕松控制該單元。它包含以太網端口和視頻輸出,便於使用。軟件包包括兼容MS Windows的軟件和驅動程序,加上電路設計者。電路設計者允許輸入各種參數,如蝕刻、灰化器或沈積類型,以及將使用的所有晶片的大小和形狀。噴頭是專門為蝕刻和asher表演而設計的。該噴嘴可旋轉以精確控制工藝參數,溫度可精確控制。這一機制允許金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)、離子束蝕刻(IBE)和靜電噴塗(ESP)等過程。PMMA模塊向處理區域提供PMMA薄膜。膜被加熱和冷卻,以方便蝕刻和灰化過程。加工的熱量和壓力由微控制器板精確控制。靜電卡盤用來緊握晶片並將其固定在加工中心。此組件對於精確控制蝕刻和灰化過程至關重要。靜電卡盤也可以調整,以說明不同晶片的大小和形狀。DES 212對於那些需要精密蝕刻和灰度控制來加工超細材料的人來說是一個極好的解決方案。該機設計緊湊,每個部件都堅固可靠,運行多年。軟件和硬件易於配置,並完美集成到任何生產線中。該工具非常易於使用,適用於所有應用,包括微觀和納米規模的蝕刻和asher控制。
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