二手 PLASMA SYSTEMS DES 212 #9123081 待售
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PLASMA SYSTEMS DES 212是一款先進的蝕刻器和asher，設計用於實驗室和生產，廣泛的行業和應用。該蝕刻器和asher具有堅固的結構，設計用於在各種惡劣的工業環境中可靠的操作。它配置性強，適用於各種工藝，如蝕刻、灰化、等離子體清洗和沈積。PLASMA SYSTEMS DES-212采用模塊化和可擴展的工作站布局進行設計,以便在任何過程中定制安裝。等離子體發生器和腔室連接到一個主控制臺，有兩個溫度控制組件。溫度可以針對不同的工藝應用進行調整。可以使用多種工藝氣體，包括SF6、CO2、O2、N2、Ar等。設備可以RIE或BAT（批處理）模式運行。DES 212支持各種各樣的過程變量,並且可以針對特定的過程要求進行編程。該系統包括數字讀出和計算機控制的數據采集，以改進過程控制和過程優化。嵌入式軟件可實現自動控制和數據收集,以實現更精確的過程控制和進一步優化。該裝置設計用於精確和可重復的過程控制，具有廣泛的參數設置，包括電壓和電流偏置、等離子體和蝕刻氣流、過程溫度、壓力、濕度、蝕刻和清潔循環時間等等。工作室的溫度均勻性由專利回流管理機維持。該工具還配備了內置的安全資產，具有防止人員面臨風險的聯鎖裝置。DES-212是高通量批處理的理想選擇,並且與包括單維和多維處理容器在內的各種處理室兼容。它提供了一系列改進了傳統技術的功能,例如通過復雜的計算機控制數據采集增強了過程控制,通過回流管理改進了過程一致性,使用直觀的用戶界面控制更易於使用,以及通過內置互鎖模型提高了安全性。
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