二手 PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3 #9179429 待售
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PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3是一種最先進的蝕刻/asher設備,旨在提供一致、高質量的蝕刻和灰化結果。該系統提供強大的等離子體生成和控制能力，使其非常適合半導體晶片蝕刻、電子封裝和氧化鋁基板等各種應用。MPT-IC-3配有高功率的肩部陰極電弧源、可靠的離子源和支持等離子體蝕刻和灰化過程的微波發生器。該單元能夠提供統一的蝕刻與可靠和快速的過程，可以調整以獲得最佳性能。機器還提供各種控制選項，允許用戶根據自己的特定需求定制等離子參數。PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3還包括手動和自動壓力控制工具，以幫助確保等離子體的穩定性。資產的多功能性使得它可以用於不銹鋼、鋁、矽、鎢等眾多材料。MPT-IC-3還配備了供氣體混合物使用的高溫氣體面板和先進的溫度控制模型，以保持基板溫度在一定範圍內。槍管室設計有集成光學設備，用於處理時查看。系統提供了包括蝕刻時間、腔室壓力、射頻功率等參數在內的一系列工藝參數。可以調整這些參數以優化不同類型的蝕刻和灰化過程的性能。該裝置還包括一個可選的氣體噴射機，以確保對各種加工氣體進行精確的濃度控制。為便於使用，控制單元提供了直觀的界面和獨特的觸摸屏界面，以控制各種蝕刻/ashing等工藝參數。PLASMA SYSTEMS MPT-IC-3得到了公司在等離子體蝕刻技術和客戶支持方面的豐富經驗的支持。該工具在安全性、性能和可靠性方面也達到了業界最高的標準,並附有長期保修,以增加您的安心。
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