二手 PLASMA TECHNOLOGY UDP80 #9126470 待售

PLASMA TECHNOLOGY UDP80（又稱蝕刻器/asher）是一種先進的等離子體表面蝕刻和灰化技術。這項技術設計用於半導體工業的生產過程，以生產高質量的表面和器件。UDP80采用兩步法，在這種方法中，該裝置被蝕刻在純氙氣等離子體中，然後用氮氣流動粉碎。這樣就形成了一個沒有汙染的表面，比如顆粒或有機分子，並且具有統一的金屬結構。設備配備了低壓和高壓離子源，可以精確控制等離子體和灰化過程。此外，該系統還提供了精密的氣冷BTM（束形成管狀磁體）源，顯著提高了蝕刻和灰化質量。BTM源有兩個部分,有源截面和晶體截面,其中有源截面由磁體和BTM磁場組成。這會產生均勻的電場，有助於在整個表面上均勻蝕刻和灰化。此外，該單元可以與溫度控制器集成，這使得它能夠在不同的溫度狀態下蝕刻。PLASMA TECHNOLOGY UDP80可以處理尺寸達300毫米的半導體晶片，等離子體工藝速率高達每小時90晶片。這使得它非常適合在大批量生產環境中使用。此外，該機維護要求低，易於進入磁鐵和清潔室進行日常維護。總體而言,UDP80是專門為生產高質量的曲面和設備而設計的高級蝕刻器/asher工具。它提供了一個兩個步驟的過程，其中包括氙等離子體蝕刻和氮灰化，一個精密的BTM源和溫度控制器均勻的結果。該資產每小時最多可處理90個晶圓，維護要求低，非常適合大批量生產。