二手 PLASMA-THERM VLR700G1 #9352047 待售

PLASMA-THERM VLR700G1蝕刻器和asher設備為高精度蝕刻和灰化工藝提供了一個完整、精確的解決方案。它提供了一個功能強大的單室蝕刻和灰化平臺，配備了功能強大的可編程脈沖等離子體源。該系統旨在最大程度地提高整個蝕刻/灰分區域的均勻性,采用雙重烘烤技術來減少蝕刻和灰分的時間和成本。雙能量脈沖源確保快速的邊緣剖面和快速的表面清潔。高靈敏度控制系統可實現精確的電源傳遞和控制所有蝕刻/灰燼參數,並實現可重復、可靠的結果。板載軟件中可定制的配方生成允許可重復的過程和精確的結果。單元中的多室射頻功率傳遞允許高效且可重現的蝕刻或灰燼深度。高精度加熱過程還會在樣品內產生控制良好且已知的擴散。等離子體室內復雜的氣體分配過程進一步確保了可重現的結果，以及清潔的蝕刻和灰燼條件。該機還設計用於優化工藝參數的利用率和清晰度。圖形用戶界面可實現簡單直觀的工作流程配置,從配方生成到底物制備和過程控制。數據收集和過程分析工具可創建全面、一致的控制調度和監控。最後，通過增強工藝控制和精確的結果，VLR700G1蝕刻和灰化工具是解決現代蝕刻和灰化需求的理想方法。它為蝕刻和灰化工藝提供了一個高效、經濟和可靠的解決方案。