二手 PLASMATECH RIE-80 #293592300 待售

ID: 293592300
Reactive Ion Etcher (RIE).
PLASMATECH RIE-80是一種蝕刻/灰化器,通常用於蝕刻和灰化半導體晶片。這套先進的系統結合了先進的流程和技術,使其成為工程師、專業人員和培訓中工程師的熱門選擇。RIE-80建立在熱穩定硬件和先進的易於使用的控制軟件的基礎上。它配備了3腔感應動力等離子體技術,使其能夠在廣泛的應用和材料中蝕刻、粉刷和沈積材料。整個系統的自動化計算機控制為用戶提供了無縫的體驗,確保每一個周期都有最高質量的結果。感應源功率在20至200瓦之間,由數字激光功率控制。這樣可以確保精確和一致的蝕刻/灰度。PLASMATECH RIE-80還配備了3維數字氣體歧管和蝕刻材料攝入器,可以提高效率和更快編程。它內置了自動監控和采樣組件,以實現最佳性能。此組件確保參數和設置始終在可接受的範圍內,並且不會超出。RIE-80進行的蝕刻輪廓淺,表面粗糙且不均勻,長寬比高,在現代半導體生產過程中都是可取的。該系統還遵守嚴格的環境和安全要求,包括自動關閉爐、溫度均勻和能耗低。雖然PLASMATECH RIE-80以其高質量的蝕刻和灰化工藝而廣為人知,但其用途並不止於此。由於它的靈活性和多功能性,它可以用於各種其他過程,如化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)、濺射甚至反應性離子蝕刻(RIE)。總體而言,RIE-80是一個可靠、通用、精確和高效的蝕刻器/asher解決方案,每次都能提供可靠和精確的結果。它是先進的硬件和軟件,是專業人員和培訓工程師的理想選擇。
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