二手 PLASMATECH RIE-80 #9249321 待售

PLASMATECH RIE-80是一種先進的蝕刻器/asher,用於從基板表面化學和物理去除薄層材料。這種功能強大的工具能夠以最高的精度和精確度去除材料，從而能夠非常精確地控制蝕刻過程。RIE-80是設計用於實驗室環境的遙控蝕刻器/asher。它有一個大的開放式框架結構，有一個氣體入口，腔室，和出口。其全尺寸腔室設計為提供最大蝕刻吞吐量。該室包含兩個樣品持有者和一個樣品表，一次最多可處理八個樣品。PLASMATECH RIE-80配備了先進的過程控制，提供全自動的過程監控。這樣可以精確控制蝕刻參數,從氣流到溫度、壓力和定時。這使得RIE-80非常適合在控制蝕刻過程中需要極高精度的應用程序。PLASMATECH RIE-80具有三軸CNC控制的萬向節系統,允許快速、精確的傾斜運動,用於掃描、蝕刻和晶圓旋轉。該系統專為高通量蝕刻操作而設計，提供對晶圓旋轉和傾斜的精確控制。RIE-80還配備了先進的高分辨率光學顯微鏡，用於驗證蝕刻結果的質量。PLASMATECH RIE-80是一種功能強大且精確的蝕刻器/asher,旨在對蝕刻過程進行高效而精確的控制。它能夠同時處理多達八個樣品，並配有先進的工藝控制和CNC控制的萬向節系統，用於快速和精確的晶圓傾斜運動。RIE-80能夠以極高的精度和精確度產生高精確度的蝕刻結果，是實驗室應用的絕佳選擇。