二手 PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9123991 待售

PLASMATHERM 700 VLR（Versalock）是一款高性能的等離子體蝕刻器，專為各種半導體應用和材料而設計，包括金屬和電介質。它能夠蝕刻高達350 μ米的區域以滿足苛刻的設備生產要求。Versalock設備采用真空和氣體壓力機制，可以精確調整到該過程所需的精確參數。PLASMATHERM 700 VLR具有專有的PCX工藝室和優化的氣流控制系統.與傳統等離子體蝕刻系統相比,該單元具有更好的蝕刻均勻性.Versalock還具有自動實時控制蝕刻溫度、線路斷裂補償、電壓輸出匹配以及獲得專利的即插即用噴氣機等功能。此工具無需外部流量控制器,可立即鎖定流量。PLASMATHERM 700 VLR還具有利用氣冷非熱成像板特性的自動加熱和冷卻資產。這使得模型能夠精確控制單級和多級芯片設計的蝕刻速率。Versalock特別適用於無邊圓或側壁錐度的高縱橫比結構的小特征蝕刻。該設備還能夠生產200 nm至500 nm、低粗糙度和垂直側壁的通道。它既可用於單sobek，也可用於級聯蝕刻概念。Versalock還有一個內置的電荷中和系統，在蝕刻過程中消除了室內的雜質積累。PLASMATHERM 700 VLR具有過電壓保護、過電流保護、腔室壓力控制、3D互鎖等多種安全特性。其密封蓋裝置通過防止機器運行時發生危險反應，進一步提高了安全性。Versalock還具有易於使用的圖形用戶界面,使操作員能夠輕松調整蝕刻過程的參數。總之，PLASMATHERM 700 VLR（Versalock）是一種針對多種應用和材料而設計的高級蝕刻工具。它具有易於使用的圖形用戶界面、獲得專利的即插即用氣體註入資產以及自動加熱和冷卻模型。Versalock具有廣泛的安全特性和精確的蝕刻功能,是各種要求苛刻的半導體應用的理想解決方案。