二手 PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9293223 待售

ID: 9293223
優質的: 1997
PECVD system LM/TM module (2) RIE Modules (5) MKS Mass Flow Controllers RFPP-RF5S RF Power supply LEYBOLD Dryvac 50P 208V, 60Hz, 3 Phase 1997 vintage.
PLASMATHERM 700 VLR(Versalock)是一款健壯可靠的蝕刻器/asher,設計用於半導體行業的先進高精度加工。它配備了多溫控系統等最新技術,以保證可重復、可追溯的過程產生優異的效果。蝕刻器/asher使用五個獨立的溫度區域,每個區域都有自己獨立的數字控制器。這確保了微觀結構水平上的精確溫度控制和精確的熱性能。PLASMATHERM 700 VLR還具有強大的磁活化鎖定機制。這樣可以確保裝載系統和加工室保持牢固鎖定,從而實現安全和穩定的操作。Versalock功能還提供了可靠且可重復的過程,而無需手動重置或調整。PLASMATHERM 700 VLR采用兩級機械泵,提供低耗散和低湍流處理。超低消耗條件降低了蝕刻和材料成本,從而提高了成本效率。在安全性方面,PLASMATHERM 700 VLR已經同時配備了機械互鎖和工藝密封功能。後者允許操作員在閉門後安全工作,從而為其人員提供安全的環境。PLASMATHERM 700 VLR還具有用戶友好的圖形界面系統,允許操作員監視和控制蝕刻進度。使用各種預設配方,用戶無需人工幹預即可執行多個蝕刻過程。總體而言,其先進的技術、堅固的設計和用戶友好的界面使PLASMATHERM 700 VLR成為半導體蝕刻和灰化的絕佳選擇。此蝕刻器/消耗器提供了更好的生產效率、可靠性和最低的耗材成本。
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