二手 PLASMATHERM 7200 #9124185 待售
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單擊可縮放
ID: 9124185
優質的: 1991
Large batch chamber
RIE Electropolish the stainless steel
lower electrode powered: 30-32"
Shower head height
(5) Brooks 5850e MFCs
BCl3 process for backside via etching of GaAs wafer
RF20F power supply with matching network
Leybold 360 turbo with controller
Edwards EM40 with 250 blower
Upgraded to PC controller
1991 vintage.
PLASMATHERM 7200是一款最先進的蝕刻/asher設備,旨在為用戶提供高吞吐量處理的精度和速度。該系統適用於PCB材料蝕刻、光掩模蝕刻、MEMS制造等各類蝕刻操作。7200利用高電流、高頻電源提供準確和可重復的結果。它具有串聯等離子體火炬，提供了改進的過程控制和可靠性。火炬配有一套專門設計的噴嘴，以達到最佳性能和工藝緯度。該單元還具有可伸縮的腔室,可方便地進入零件並最大程度地減少汙染。該機器能夠高速執行各種蝕刻技術。其晶片盒和傾斜托架配置可實現非接觸蝕刻和精確的抗蝕性圖樣。此外，它的過程控制軟件即使在處理易受傷害的基板時也能確保可重復性和準確性。該工具還具有高度可定制性,提供了一系列可選的部件和附件,如口罩支架、切丁刀片、特殊支架和附加噴嘴。它也與多種氣體兼容，如SF6、O2、SF4和H2。PLASMATHERM 7200是一種強大可靠的資產,功能廣泛。其先進的功能和控制軟件使用戶能夠快速、精確地進行快速的蝕刻操作。該模型基於模塊的體系結構允許將來進行升級,以確保設備隨著最新的技術進步而保持最新狀態。
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