二手 PLASMATHERM 7300PE #9042738 待售
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ID: 9042738
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
PECVD System, 8"
Main frame
Transformer
Power supply
M-405-V-AC Unit
(4) Cartons
1996 vintage.
PLASMATHERM 7300PE是為工業和研究市場設計的先進蝕刻/灰化系統。該設備具有可編程溫度範圍（450-600°C）和獨立的紅外和微波加熱功能,能夠精確控制樣品處理參數。另外，歧管加熱器部分和射頻發生器獨立驅動，以獲得最佳源功率和工作壓力水平平衡。該系統適合於蝕刻/灰化一系列材料，包括矽、砷化氙和類似金剛石的碳（DLC）塗層。它利用UPEC（通用並行蝕刻控制）技術實現了最佳蝕刻速率和可重復性。該技術跟蹤過程中的蝕刻速率，並相應地控制化學流動，以獲得一致的結果。7300PE配備了各種安全功能，包括自動歧管關閉閥、電動源拋出開關和氧氣監測器。數字控件是用戶友好的，允許遠程操作和無人值守蝕刻。此外,數據收集程序允許用戶監視化學流速、溫度、壓力和其他工藝參數。PLASMATHERM 7300PE結合了高轉移蝕刻速率和可靠的過程控制，使其成為工業和研究應用的理想解決方案。該單元設計為易於安裝、操作和維護。此外，其耐腐蝕結構使其堅固耐用，適合惡劣環境。其先進的特性和卓越的性能使其成為精確、高度可靠的蝕刻/灰化的理想選擇。
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