二手 PLASMATHERM 740 #194698 待售

PLASMATHERM 740是一款最先進的蝕刻器/asher，設計用於高通量和經濟高效的晶圓處理。設備配備高效的低壓等離子體源，以及專有的三軸離子器、雙脈沖晶片操控，以及一系列工藝特點，可實現優越的蝕刻均勻性、高光束密度、高長寬比，並在較大的無缺陷表面積上精確對準。740有一個可定制的工藝工具集，用於針對不同的應用（如幹蝕刻、灰泥、塗層、打印和剝離）量身定制加工。PLASMATHERM 740將行業領先的工藝精度與低成本批量處理相結合,非常適合大批量生產環境。該系統采用專利的多級等離子體工藝優化和均勻性控制技術，具有較淺的溝槽隔離工藝和中深維度結構的高質量效果。740的高功率等離子體源能夠產生不同能量、流量和脈沖持續時間的脈沖，以確保最佳蝕刻性能。此外，還可以采用雙脈沖控制技術來減少工藝時間，消除晶圓表面的高能和低能區域。Pulse Delay Knowledge Unit確保對稱和均勻的前饋脈沖延遲,以獲得更高的精度。該機還配備了3軸機器人定位器，最大速度為624 bpm。定位器確保晶片在整個成像過程中精確對準和運動。它還提供了12個功率級控制步驟和可調節的晶片傾斜度,以優化覆蓋範圍。PLASMATHERM 740具有用戶友好和直觀的基於Windows的界面,並提供遠程訪問以增強支持。該工具具有硬件和軟件平臺,可提高工作效率和正常運行時間,是任何晶圓處理應用程序的完美解決方案。