二手 PLASMATHERM 770 ICP #9156681 待售

PLASMATHERM 770 ICP是來自PLASMATHERM的先進蝕刻和灰化設備。它提供卓越的蝕刻和灰化性能,並包括一系列旨在確保統一精度和可靠性的功能。該系統具有先進的電源，可提供高電離密度、均勻的蝕刻輪廓和更高的工藝穩定性。快速開關電源具有各種電容和脈沖長度的靈活性。這樣可以優化給定過程的蝕刻速率。它還允許調整每個蝕刻過程的輸出功率,以實現整個批次的最佳工藝配置文件和可重復性。770 ICP還包括一個獨特的集成兩區陶瓷襯裏腔室，允許在一個單元中進行蝕刻和灰化。工藝氣體室使用氮氣、氧氣和其他反應性氣體操作，能夠對各種材料進行蝕刻和灰化。集成開放式負載鎖可確保晶片的輕松加載和卸載,而不會帶來額外的汙染。可以很容易地從腔室的兩側進入載荷鎖以裝載樣品。該單元包括先進的控制，允許精確的過程監測和自動熱控制。一個高度敏感的熱電溫度探頭測量等離子體加工過程中的晶圓溫度。過程的均勻性由紅外高溫計進一步監測。該軟件還包括配方驅動的用戶界面，便於選擇流程參數。直觀的GUI為用戶帶來了自我解釋的過程控制。它包括用戶友好、圖形和文本狀態顯示,以指導操作員完成設置和配方選擇過程。它提供自動安全警告,並清楚地傳達處理錯誤。PLASMATHERM 770 ICP是蝕刻和灰化的理想機器，提供卓越的可靠性和準確性。它具有集成的硬件和軟件功能,可確保以最高質量和可重復性執行任何過程。