二手 PLASMATHERM 770 ICP #9156791 待售
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ID: 9156791
晶圓大小: 1"-8"
優質的: 1997
Plasma etcher, 1"-8"
Load lock shuttle lock transfer
Single chamber ICP
RFPP–RF5S RF Power supply w/AM5
Six zone heater
VAT PM5 Pressure controller
RF10M w/phase
Model 919 Hot cathode controller
(6) MFCs-gas
1997 vintage.
PLASMATHERM 770 ICP是一種蝕刻器/asher設備,能夠快速、可靠、經濟地生產先進的半導體產品。該系統通過結合低壓等離子體處理、高精度氣體入口系統和數字溫度控制來實現精確和可重復的結果。它能夠達到10 um的可尋址分辨率,具有廣泛的工藝參數和功能,適合生產和研究應用。770 ICP 蝕刻器/asher單元可用於晶片和非晶片蝕刻應用,包括矽、有機膜、陶瓷、玻璃、真空沈積和MEMS。利用其低壓等離子體工藝和高壓/低功率等離子體電源,設計為實現所需的蝕刻工藝均勻性,並將材料損壞和汙染降至最低。這使得它非常適合一系列的應用,如柵極蝕刻,通過蝕刻,鰭片蝕刻,和抵抗剝離,以及環境清潔和濺射。該機配備了一個高精度的氣體入口工具,具有多達三條氣體管線和一個集成的壓力控制器。它還配備了數字溫度控制器,允許精確和可重復的溫度控制。這樣可以確保達到並維持所需的蝕刻工藝條件。PLASMATHERM 770 ICP 蝕刻器/asher資產由於設計簡單直觀,易於使用和維護。它具有直觀的圖形用戶界面,允許用戶快速編程和控制蝕刻過程。該模型還具有防止意外損壞和汙染的內置安全功能,以及便於遠距離操作的遠程控制設施。770 ICP 蝕刻器/asher設備代表了蝕刻技術的極致,實現了先進半導體產品的快速、可靠和經濟的生產。它是尋求高級蝕刻解決方案的制造商和研究中心的理想選擇。
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