二手 PLASMATHERM 790 Series #293763506 待售

ID: 293763506
晶圓大小: 6"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6" TPH 240 Turbo pump.
PLASMATHERM 790系列是一款先進的蝕刻和灰化設備,旨在滿足最苛刻的生產和研究應用要求。它將快速氦氣噴射活化反應氣體與高頻射頻能量孔相結合,提供精確的蝕刻工藝。它擁有低維護平臺和優越的燃氣蝕刻室,使其成為電子行業各種高精度應用的首選。790系列是支持反應性離子蝕刻(RIE)和深度反應性離子蝕刻(DRIE)應用的多應用系統。它包括一個手動提升和下降單元,提供方便方便的樣品加載,和一個可調的電場作用在蝕刻室的蝕刻均勻性的優越控制。PLASMATHERM 790系列控制器基於GSD軟件,可確保對工藝參數的精確控制。它有一個大的圖形顯示,使它易於操作的機器。直觀的用戶界面允許用戶根據應用程序的需要輕松調整參數。該工具設計用於恒星溫度控制和改進大氣,以實現高蝕刻質量和分辨率。它使用快速氣體替代資產,用新鮮的、富含氦氣的氣體清除蝕刻室。790還提供了多種可配置的高功率射頻電源,可提供高達10千瓦的功率。先進的數字控制模型提供了對壓力、流量、樣品溫度等蝕刻參數的精確控制,確保了蝕刻精度的最高水平。控制器還確保了對蝕刻室電場的精確控制,允許用戶根據其應用程序調整電場。790系列提供了滿足電子行業最苛刻的蝕刻和灰化應用程序所需的所有功能。其堅固的結構、先進的控制設備以及優越的燃氣蝕刻室,使其成為各種高精度應用的可靠高效選擇。
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