二手 PLASMATHERM 790 Series #9308031 待售
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PLASMATHERM 790系列Etcher/Asher是一款用途廣泛的高級沈積和蝕刻設備，用於薄膜蝕刻和電遷移等高級應用。它提供了較高的等離子體密度和靈活性，以優化氧化物蝕刻，通過蝕刻，和淺溝隔離（STI）。它利用平行板等離子體構型，可以很容易地編程，以實現對工藝參數的精確控制。該系統的腔室由不銹鋼制成，並經過加熱，以確保均勻的熱分布和過程穩定性。腔室前側裝有用於樣品裝卸的負載鎖，兩個用於基板支撐的膠帶基座，以及一個具有可調葉片的基板固定機構，為基板提供均勻的等離子體分布。790 Series Etcher/Asher配備了一對觸摸屏用戶界面控件和直觀的圖形用戶界面，可以方便地操作設備。利用冗余質量流控制器，準確控制氣流，提供無與倫比的可重復性。用戶可以自定義蝕刻過程參數以獲得所需的結果。它還具有業界領先的高能、高壓射頻（RF）電源,可產生高達130瓦的功率,從而使機器能夠安全高效地使用。加固的冷卻器工具可確保在蝕刻過程中準確控制過程溫度,而先進的真空資產可確保整個過程中的超清潔環境。PLASMATHERM 790系列Etcher/Asher能夠在高溫和高壓下運行，非常適合對矽和石英等細膩材料進行蝕刻和退火。該模型還為灰燼和沈積工藝提供了可選的擴展深度功能。此外,該設備還能夠支撐15 「x 16」英寸的基板,這使得該系統適用於各種應用。790 Series Etcher/Asher是研究、制造和工程應用的理想選擇,包括制造透矽vias （TSV）和3D集成電路、TFT以及薄膜蝕刻和沈積。該單元也非常適合半導體、MEMS和光學行業使用，使其成為市場上最尖端的蝕刻和沈積系統之一。
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