二手 PLASMATHERM 790 Series #9382207 待售
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PLASMATHERM 790系列Etcher/Asher系統是一個高性能、多功能的單元，旨在為各種蝕刻和灰化應用提供精密和先進的技術。790系列采用先進、多區域、高真空、靜電卡盤等離子體源,實現了精確的氣體控制和均勻的溫度分布。這創造了一個無菌和低壓的環境，使得它特別適合諸如反應性離子蝕刻、灰化和沈積等應用。平臺的有源氣體輸送設備由高精度數字真空泵、質量流量控制器、集成排氣系統、計算機控制軟件接口組成。這種精密硬件和軟件的結合，使用戶能夠準確、精確地調節氣流、壓力和離子能量參數，進一步有助於確保對蝕刻和灰化過程如此關鍵的可重復處理條件。該單元的高級設計促進了一系列可編程的自動化方法。它允許用戶以最小的努力定制每一個操作，並且已經設計了高效和精確的手動操作。預先建立的操作配置文件也可用於受控和可重復的處理。PLASMATHERM 790系列兼容一系列矽光掩模和非導電基板，包括石英、二氧化矽、氧化鋁和聚酰胺。機器的自動化卸載功能使晶片和其他基板的放置和運輸變得容易,並且它的安全互鎖可以防止意外的電弧或高溫暴露。通用的790系列有多種型號配置,可以根據操作員的處理需求進行定制。它是需要嚴格控制溫度、氣流和壓力的蝕刻和灰化應用的理想工具。其簡單、一致的操作使用戶能夠產生各種精密的蝕刻和灰燼，相對於傳統方法而言效果優越。
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