二手 PLASMATHERM 790 Series #9382215 待售

PLASMATHERM 790系列是一種精密的蝕刻器和asher設備，設計用於廣泛的納米技術應用。其獨特的過程控制、資源經濟性和電力效率相結合，使其成為高精度蝕刻和灰化操作的理想裝置。790系列具有等離子體源，可產生高度可控、高純度的等離子體，用於蝕刻和粉刷基板。PLASMATHERM 790系列包含了一系列精確的過程控制參數，以允許對等離子體參數的精確控制，包括功率、脈沖速率、脈沖寬度、蝕刻時間、蝕刻深度、灰度時間、灰度深度、反應物流量和註入速率。這種控制結合了系統的10-2 mBarr的超低真空水平，以及短短3分鐘的極短清潔序列，使其成為高吞吐量應用的理想選擇。790系列設計效率高,資源節約。它采用低壓電源,具有先進的節能功能。先進的PLC控制單元提供了優化的過程控制和對過程參數的精確控制。PLC界面用戶友好,圖形操作可實現快速的流程設置。安全是重中之重。PLASMATHERM 790系列提供先進的火災和煙霧探測機和遠程緊急關閉。該工具配有鉸鏈蓋,配有接觸開關,以確保操作員的安全。紅外溫度感應也用於過程監測和控制。790系列具有廣泛的過程和控制選項,使其成為滿足各種用戶需求的理想設備。它內置的診斷資產和廣泛的I/O功能允許輕松集成到現有的實驗室規模、制造和生產線中。這種用戶友好型與多種基板兼容。