二手 PLASMATHERM A360 #138938 待售

PLASMATHERM A360
ID: 138938
晶圓大小: 5"
Etchers, 5".
PLASMATHERM A360是一種蝕刻器/asher,具有高級功能和功能,可創建高性能結果。它具有4種獨立控制的氣體壓力設置,使其極為精確,並允許用戶精確控制其基板的蝕刻過程。該室采用先進的工程材料建造,以確保最高質量的結果和患者的安全。腔室內部拋光光滑,完美無瑕,確保蝕刻操作均勻且可重復。A360還配備了創新的溫度測量技術,使用戶能夠測量整個蝕刻表面各點的溫度,從而實現最精確的蝕刻。PLASMATHERM A360還擁有一系列安全功能,包括真空互鎖、超壓安全功能、將汙染物和廢氣直接排入外部環境的排氣擴散器,以及可讓用戶監控系統性能的數字監管器。獲得專利的全自動過程控制(FAPC)系統允許用戶輕松設置和保存多達30種不同的過程配方,確保過程保持一致和可靠,無論誰在使用機器。A360是一個多功能設備,提供三種不同的蝕刻基板和多達8個蝕刻特征。每個工藝都與在工業規模上取得的統一蝕刻結果一致。PLASMATM PLASMATHERM A360可以量身定制,以滿足每個客戶的特定需求,包括各種選項,如蝕刻氣體混合物、蝕刻氣體流量控制、板蝕刻功率、基板小平面控制等。總體而言,A360是一項先進的技術,提供多達8個蝕刻工藝和4個氣壓設置,允許用戶為每種基材類型定制蝕刻工藝。通過其安全特性和集成的溫度監測系統,確保了用戶的安全和過程的可靠性。
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