二手 PLASMATHERM AMNS-3000E #293604270 待售

PLASMATHERM AMNS-3000E是一種高效可靠的最先進的蝕刻/灰化設備。它設計用於銅、聚酰亞胺、矽、玻璃和金屬等各種基板的精密蝕刻/灰化。該系統可配置為用於平板顯示器、磁性記錄介質和半導體器件制造等應用的手動或自動操作。蝕刻/灰化單元由三大組件組成，分別是輸入壓板、輸出壓板和蝕刻/灰化室。輸入板的設計可容納20 x 20英寸以下的基板。它利用一個垂直移動的平臺來支撐基板，以及一個兩級真空機，以確保適當的附著在壓板上。輸出板的設計可容納多達8個基板。它采用變頻驅動電機驅動的整體傳送帶工具.蝕刻/灰化室是資產的心臟，具有兩階段的等離子體註入模型。這既提供了用於蝕刻/灰化的Ar/O2等離子體，也提供了用於獨立控制每個工藝的諧波驅動設備。該系統還配備了用於流程優化的微型計算機和用於任務管理的可編程接口。該裝置還具有加壓室、聯鎖機保護人員、可調氣流控制等多種安全特點，以優化工藝產量。除了蝕刻/灰化工具外,AMNS-3000E還包括功能強大的控制軟件包。該軟件包旨在為用戶提供高級流程控制和自動配方管理,使用戶能夠輕松存儲和訪問關鍵流程配方。軟件還允許用戶監視所有硬件參數，以及調整、診斷或微調流程操作。PLASMATHERM AMNS-3000E是一系列蝕刻/灰化操作的理想資產。其先進的特點和卓越的工藝可靠性使它成為一個特殊的價值。由於其人性化的設計，該模型也易於使用，能夠一次又一次地提供一致的結果。