二手 PLASMATHERM AMNS-3000E #293618168 待售

ID: 293618168
Reactive Ion Etcher (RIE).
PLASMATHERM AMNS-3000E是用於制造電子、光電和微電子器件的先進蝕刻器/灰化器。該設備設計用於矽、玻璃和有機材料以及矽基合金的低溫和高溫反應性離子蝕刻和蝕刻。其廣泛的功能、低功耗以及作為可靠且經濟高效的系統而享有盛譽,使其成為各種行業應用的理想選擇。該單元包含多個控制選項,使用戶能夠自定義其操作並獲得所需的結果。其中一個特性是內置的可編程控制器,它允許用戶監控和調整幾個參數,包括氣壓、電壓、頻率、脈沖持續時間、脈沖類型和波形形狀。此外,該機器能夠監測和控制室內的溫度、濕度和壓力,從而實現精確和可重復的過程結果。該工具利用獲得專利的等離子體源,能夠產生頻率範圍很廣的強大微波波形,從而獲得較高的蝕刻速率。波形還刺激各種類型的電離材料進行更高效的蝕刻。可以定制產生的波形以滿足用戶需求,從而實現快速可靠的工藝優化。AMNS-3000E還配備了創新的安全功能,例如機櫃互鎖資產和可編程的高壓顯示器,可防止過大的電壓累積。該模型還具有壓力密封機構,以防止室內壓力變化,確保準確和可重復的結果。設備的核心是高精度真空沈積室,該室經過精心制作,能夠提供精確的蝕刻和沈積結果。腔室包括動態溫度控制、多個氣體註入口、旋轉和橫向運動能力,以及各種氣體註入速度控制,允許提高工藝精度。PLASMATHERM AMNS-3000E是一種多功能、高性能的蝕刻系統,物有所值。這款先進的蝕刻器/asher是計算機芯片制造、光電器件、MEMS、微流體器件等廣泛行業應用的理想選擇。
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