二手 PLASMATHERM Clusterlock 7000 #9178962 待售

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ID: 9178962
Vacuum transfer module (2) PT7000 RIE/PECVD Systems With (1) Cassette load / Unload module Substrates: 500 mm x 500 mm (6) Transfer ports: 630 mm wide x 120 mm high Motorized lid hoist underneath VTR-Robot with end-effector Chamber Cassette loader Genmark lift robot.
PLASMATHERM Clusterlock 7000是一種先進的蝕刻器/asher設備,具有多種功能,可在各種基板中產生精確的蝕刻或灰化功能。利用先進的半導體技術,Clusterlock 7000提供了優化的周期時間和差異化功能,以滿足生產要求。當使用高度敏感和具有挑戰性的材料時,蝕刻器/asher還提供卓越的性能。PLASMATHERM Clusterlock 7000的模塊化設計允許在有限的空間中快速、方便地安裝和維護操作。該系統的設計還有助於過程控制和監測系統的集成,以確保一致滿足最佳蝕刻和灰化參數。該單元還允許針對敏感材料制定額外的特定於工藝的安全協議。Clusterlock 7000的獨立機器提供了無與倫比的安全性、安全性和精確度。為方便和個性化流程設置,用戶友好的觸摸屏界面允許輕松操作和完全控制所需的流程參數。PLASMATHERM Clusterlock 7000利用先進的材料切割技術和先進的流動動力學,確保精密準確的蝕刻和灰化工藝。蝕刻器/asher的集成自動清潔工具進一步增強了其在各種基材中產生令人難以置信的精確特征的能力。Clusterlock 7000 蝕刻器/asher還擁有市場上能效最高的系統之一。該資產還包括除塵和過濾系統,以確保最佳空氣質量。低能耗和排放水平的PLASMATHERM Clusterlock 7000符合最高環境標準。Clusterlock 7000是任何應用程序都非常通用的蝕刻器/asher。它的模塊便於與任何現有流程或設計快速、輕松地集成。該模型在保持安全、穩定和低能耗的同時,為蝕刻和灰化工藝提供了卓越的精度、精度和控制。
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