二手 PLASMATHERM Dual 790 #293815789 待售
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PLASMATHERM Dual 790是一款針對半導體行業中精確高效的等離子體處理應用而設計的尖端蝕刻和asher設備。此高級工具集成了雙模式功能,使蝕刻和灰化過程能夠在單個平臺中執行。該系統提供了無與倫比的靈活性和對等離子體參數的控制，使其成為各種設備制造過程的通用解決方案。Dual 790的核心是它的高密度等離子體源，它產生各種材料蝕刻和灰化所必需的高能物質。該裝置利用先進的射頻（RF）等離子體技術，創造出高度均勻穩定的等離子體環境，確保整個基板表面的過程結果一致。射頻等離子體源產生了廣泛的反應性物種，允許對不同材料進行精密和精密的選擇性蝕刻和灰化。PLASMATHERM Dual 790的一個關鍵特性是它的雙模操作，使得蝕刻和灰化過程之間可以無縫切換，而無需機器重新配置。此功能不僅簡化了流程流程,而且最大限度地提高了工具利用率和生產率。該工具提供了廣泛的工藝氣體和參數選擇，允許用戶量身定制等離子體條件，以滿足每個加工步驟的具體要求。Dual 790配備了先進的氣體輸送資產，確保對氣體流量和混合物的精確控制。這一模型能夠創建先進等離子體工藝所需的復雜氣體化學物質，如深層反應性離子蝕刻（DRIE）和表面改性。此外，該工具還具有先進的腔室設計和抽氣設備，用於快速氣體疏散和高效的等離子體處理。該系統采用了最先進的溫度控制裝置，在加工過程中將基板溫度保持在一個嚴格的範圍內。此功能對於防止敏感材料的熱損壞和確保蝕刻和灰化操作中的重復結果至關重要。該工具還提供全面的端點檢測功能,允許實時監控流程進度和準確確定流程完成情況。PLASMATHERM Dual 790配有用戶友好的界面和先進的軟件控制，便於編程和執行復雜的等離子體過程。該機器提供了一系列診斷和監控工具,用於流程優化和故障排除,增強用戶體驗和工具性能。此外,該工具還具有較高的吞吐量和可靠性,適合研發和生產環境。綜上所述,Dual 790是一款用途廣泛且先進的蝕刻器/asher工具,可提供雙模操作、精確的等離子體控制和高級工藝功能,適用於各種半導體處理應用。憑借其尖端技術和用戶友好的設計，該工具非常適合半導體行業要求苛刻的制造工藝。
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