二手 PLASMATHERM Gen 4 Mask IV #9386140 待售

PLASMATHERM Gen 4 Mask IV是一種蝕刻器和asher，用於多種工業應用。它旨在與各種材料配合使用,為精密蝕刻和灰化工藝提供解決方案。它具有內置的射頻/直流發電機,可實現高功耗蝕刻,並具有寬廣的工藝窗口和較低的氣體消耗。這種蝕刻器和asher還具有一個可調的基板支架，使其適合用於平坦和凸起的基板。蝕刻器和asher采用最大13.5 x 13.5英寸的蒙版尺寸,以及可定制的底板支架,間隙可達0.4英寸。基板支架在蝕刻和灰化過程中提供了對基板的精確操作和定位。它具有氣動密封器和開門機構，以確保適當的密封，以及一個集成RF電源的最佳RF RF蝕刻過程4-200W。Gen 4 Mask IV還配備了先進的PLASMATHERM視覺控制設備,用於用戶友好的設置和操作。該系統顯示實時蝕刻過程控制參數,允許精確的過程控制,如微波功率、掃描速率等。此外，它還具有內置的OCR輔助裝置，用於基板的定位。這臺機器通過數據驅動的方法分析多層板的圖像，使基板上的目標自動定位成為可能。PLASMATHERM Gen 4 Mask IV附帶一個可選的遠程面板接口,以提供遠程操作方便,以及一個配方管理工具,允許存儲和檢索蝕刻食譜,使用戶能夠回憶以前的食譜並自定義設置,以優化蝕刻和灰化過程。蝕刻器和asher的工作溫度範圍是0-35C的，使得它適用於廣泛的過程。總體而言,Gen 4 Mask IV是一種功能強大的蝕刻和灰化解決方案,適用於各種工業應用。其用戶友好的操作和一套高級功能使其成為精密蝕刻和灰化工藝的理想解決方案。