二手 PLASMATHERM Gen 4 #9230297 待售

PLASMATHERM Gen 4是由PLASMATHERM開發的行業領先的蝕刻/灰分設備，用於深度蝕刻和灰分應用。該系統有助於加工各種材料，包括金屬、聚合物和復合半導體。第4代采用獨特的基於陶瓷的蝕刻工藝，產生精確和詳細的特征，具有良好的邊緣清晰度。此外,該機還具有先進的溫度控制功能,可實現精確的蝕刻和灰化速率.這使得結果的可重復性和可重復性與最小的操作員幹預.PLASMATHERM Gen 4具有22英寸工業液晶觸控面板接口和基於PC的控制單元。此界面允許與用戶友好的操作機器實時進行通信和參數調整。該工具通過自動配方生成得到進一步增強,用戶可以快速編程所需蝕刻或灰分配方的參數。第4代提供一致的均勻蝕刻和灰分速率,從而導致材料的高度均勻蝕刻/灰分。該機還采用了先進的無滴蝕刻技術，確保蝕刻/灰化過程中不會出現累積的蝕刻液滴。PLASMATHERM Gen 4具有堅固的結構,並配有不銹鋼腔壁,設計用於抵抗腐蝕和磨損。此外,流體冷卻設備即使在長時間的蝕刻和灰化過程中也有助於保持最佳腔室溫度。該模型還利用了氣體輸送設備，該設備有助於減少氣體使用，同時保持最佳蝕刻和灰分速率。它采用了一種易於取用和可更換的氣體輸送歧管，用於簡單的日常維護。第4代提供了多種工藝工具和組件,這些工具和組件對於生產透明、導電的金屬氧化物和復合半導體設備至關重要。該系統還具有高效的空間加熱單元，允許快速和可控的熱過程。機器的可選鎖定蝕刻工具可以將極小的特征和圖案插入到基板中。