二手 PLASMATHERM Mask IV #9228114 待售

PLASMATHERM Mask IV
ID: 9228114
Dry etcher Gen 4.
PLASMATHERM Mask IV是一款高度先進的蝕刻/灰化機,用於學術和專業應用。它以先進的技術和高質量的成果而受到贊譽。Mask IV配備了先進的等離子體發電機設備,有助於產生廣泛的工藝參數,如蝕刻深度、幅度、持續時間等等。此外,它還利用低損耗板塗層技術來確保精確的薄膜厚度、均勻的長寬比和緊密的幾何形狀。利用完整的精密參數陣列,此蝕刻器/asher可以涵蓋從最先進的研究到生產需求的所有應用。該機還配備了獲得專利的目標對準系統(TAS),可確保基板、掩模和目標的精確放置。這對於在緊密幾何形狀中獲得最佳蝕刻結果至關重要。VersaDrive定位單元為TAS的精確運動提供了必要的穩定性和準確性,而無偏轉聚焦機(DFFS)有助於確保蝕刻區域不會偏離所需區域。這保證了每次都有高質量的蝕刻性能。PLASMATHERM Mask IV也有一系列的過程監測資源,以確保蝕刻結果的質量和統一性。它具有嵌入式智能和過程監視功能,可以將進程參數恢復到其定義的設置,以實現可重復蝕刻性能。而且,快速熱負荷工具可以快速地將腔室從蝕刻模式過渡到灰分模式,以確保最高水平的工藝均勻性。這款蝕刻器/asher還配備了一系列安全功能。它有一個氣體監控器資產,如果密室達到潛在危險的過程水平,就會觸發警報。此外,Mask IV還具有預先設定的操作參數,以確保過程的準確可重復性並防止任何不安全的情況。最後,真空監測能力有助於確保在蝕刻過程中僅達到室內的安全真空水平。總體而言,PLASMATHERM Mask IV是一款非常先進且功能強大的蝕刻器/asher,可為用戶提供出色的效果。它的先進技術非常適合所有應用,從基礎研究到大批量生產。此外,其安全特性有助於確保蝕刻過程安全高效。
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