二手 PLASMATHERM PECVD Heater #9124951 待售

PLASMATHERM PECVD加熱器是一種蝕刻器/灰化器，設計用於將各種材料的薄膜沈積到基板上。用於太陽能電池制造、薄膜晶體管加工等微電子工藝等應用。PECVD Heater是一種高密度、直接頻率、射頻加熱、化學等離子蝕刻器，旨在提供經濟高效、精確的過程控制。它采用多站並聯沈積工藝，可準確沈積各種材料。PLASMATHERM PECVD加熱器裝有一個沈積頭，當將材料沈積到基板上時，它具有很高的靈活性。沈積頭能夠處理各種尺寸和形狀的基板，從平板到不規則形狀。PECVD加熱器還具有集成的反應性氣體輸送設備，可精確控制反應速率和反應介質。這允許在復雜化學中進行可靠的過程控制，如摻雜、選擇性和3D結構。PLASMATHERM PECVD加熱器還具有許多工藝參數，可以調整以優化沈積工藝。這些參數包括反應堆壓力、等離子體電壓、射頻功率水平、源溫度、源距離、源到基板距離、源功率。PECVD加熱器的設計也考慮到安全性，具有可編程的電磁互鎖系統，能夠在任何不安全的情況下進行CAE操作。PLASMATHERM PECVD加熱器是一種用途廣泛、經濟實惠的蝕刻/可編程沈積解決方案,適用於各種薄膜制造和微電子工藝。它能夠提供準確和可靠的過程控制，這要歸功於一些可以調整的過程參數，以及一個集成的反應性氣體輸送裝置。此外,PECVD加熱器的設計考慮到安全性,采用集成式安全機器以確保符合安全法規。