二手 PLASMATHERM PK 24 #140728 待售
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ID: 140728
Plasma etch system
For implementing dry etching techniques
Dielectric & metals
Pumping system:
Corrosion resistant pump: 40 DFM
Oil filtration system
Chamber / Fixture:
26" Diameter x 5" high Al ring
Al substrate: 26" Diameter
RF Top electrode: 22" Diameter
Electrodes designed for temperature control
Spacing: 1/8" to 2"
Auto tuning
Matching network box
Cabinet
Pressure monitor & control:
Capacitance manometer
Digital readout
Throttle valve & controller
Missing pumps:
Mechanical pump
Pump (Turbo molecular / Diffusion)
Gas inputs:
(3) Process gases: Mass flow control
(2) Purge gases: Rotometer
Flowmeter ranges:
0 - 10 SCCM
0 - 100 SCCM
0 - 1000 SCCM
RF Power: 13.56 MHz, 3 kW
Documentation included.
PLASMATHERM PK 24是為實驗室和工業應用而設計的精密蝕刻/灰化設備。該系統具有富氧等離子體，能夠在金屬、陶瓷和玻璃材料等基板上產生凹槽、凹槽和表面結構。集成軟件為蝕刻和灰化提供了易於使用的參數。提供的刀具（如銑削刀具、鉆頭和激光切削刀具）效率高,使用壽命長,精度更高。此外,PK 24還可以通過直接數據訪問、參數控制、自動化過程和機器集成,輕松友好地運行。該單元包括雙渦旋等離子體源，一個獨特的，專利技術與一個轉彎計時功能。先進的渦流反應堆技術允許對底物進行均勻蝕刻和灰化，保證了高質量、循環時間快的產品。內置鼓風機有助於減少蝕刻和灰化時間，提供恒定、穩定的等離子體，以實現卓越的產品一致性。PLASMATHERM PK 24還提供經濟性氣體管理和低成本耗材。其氣體監測機可自動輸送氣體，確保安全可靠運行。供應容器是模塊化和開放的，以便於改變消耗品和使用不同的氣體。PK 24具有中等尺寸的腔室，工作面積為245 x 245毫米，為各種應用提供了極大的靈活性。與替代蝕刻和灰化系統相比，PLASMATHERM PK 24具有較大的工作區域和加工區域，使其適合更大的基板。PK 24設計安全可靠。腔室和其他組件設計用於清潔和無塵的工作環境，以及溫度和氣體穩定性，在工業作業中提供一致的性能。此外，刀具的頂蓋和液體冷卻資產解決了腔內冷凝問題。PLASMATHERM PK 24易於使用和維護，允許操作員訪問所有必要的數據和控制參數。它易於閱讀的控制和診斷面板設計為最大的效率和可靠性。此外，還整合了所有必要的安全設備和安全功能，如探頭和傳感器，以防止工區發生任何事故。因此,PK 24提供了出色的安全性和安全的工作環境。
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