二手 PLASMATHERM PK 2440 #293604307 待售

ID: 293604307
優質的: 1981
Dual plasma and Reactive Ion Etcher (PE / RIE) 1981 vintage.
PLASMATHERM PK 2440是由PLASMATHERM開發的先進蝕刻/灰化設備。它是薄膜和樣品蝕刻和粉刷的高效、經濟高效的解決方案。該系統旨在為生產和研究應用提供精確和可重復性。PK 2440具有專有的3軸電動驅動單元,可控制舞臺並提供精確的樣品定位。其高速步進電機使機器能夠在薄膜和樣品上產生高精度的蝕刻和灰化。此外,該工具的自動化機制允許動態樣品定位和腔室清洗。PLASMATHERM PK 2440提供了廣泛的蝕刻和灰化功能。這些包括薄膜蝕刻、薄膜灰化和從基材中釋放薄膜。它還具有一個腔室清潔選項,以減少腔室汙染物。該資產使用基於等離子體的蝕刻劑和灰化化學,包括O2、Ar、Cl2和SF6。該模型的高速交鑰匙操作提供了一致的、可重現的結果,自動化的樣品室清洗過程減少了手動清洗的需要。它還具有一個大的20.2厘米x 30.5厘米的金屬室和一個13厘米x 19厘米的裝載區,以容納廣泛的樣本量。此外,設備還擁有方便的用戶友好界面,可以高效操作。該系統還提供先進的安全功能,包括自動氣體關閉閥、超壓限制器和E-stop,以保護操作員免受任何危害。PK 2440是研究實驗室和生產場所的理想解決方案,需要精確且可重復的蝕刻和灰化功能。憑借其先進的功能和用戶友好的界面,該單元提供了一個高效和經濟高效的解決方案,蝕刻和灰化薄膜和樣品。
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