二手 PLASMATHERM PLASMA901e-1 #9282868 待售

PLASMATHERM PLASMA901e-1是為各種材料開發的功能強大、可靠和高精度的蝕刻器/asher。它結合了精確控制、可靠性能、快速處理以及易於集成到自動化系統或手動使用中。PLASMA901e-1使用具有高級ePRControl線性步長參數化的射頻（RF）等離子體源來提供一致和均勻的操作。該蝕刻器/灰化器配備了全自動真空室設備（FACS），以確保最佳的氣體流動和對等離子室環境的控制。FACS包括對流程氣流的智能管理，以及熱交換器、泵和等離子光學元件。因此，PLASMATHERM PLASMA901e-1針對廣泛的應用進行了優化，從介電層、摻雜膜和層，到金屬薄膜蝕刻、金屬和陶瓷合金蝕刻等等。PLASMA901e-1還包括串行總線接口（SBVI）,用於通過以太網或Modbus TCP/IP實現完全遠程連接,從而實現與處理系統的直接通信。這允許用戶實時監視蝕刻器/asher的操作,並在必要時遠程調整參數或關閉設備。PLASMATHERM PLASMA901e-1的設計也考慮到了安全性,集成了真空安全機（VSS）,可確保安全的真空操作和遵守適用的安全法規。原料方面，PLASMA901e-1具有廣泛的相容性，包括結晶矽、金屬氧化物、氮化矽、碳化矽（SiC）、氮化鋁、氮化鋁、氧化鋁（Al2O3）、硒化鎳等材料。它還通過與標準Load-Lock系統的兼容性實現自動基板處理。PLASMATHERM PLASMA901e-1具有直觀的用戶界面,可輕松設置、配置和監視蝕刻器/asher。它還包括先進的各向異性蝕刻功能,這要歸功於其可調節的蝕刻角度和EasyAxis TM對準工具,從而實現了卓越的精度。總體而言,PLASMA901e-1是一款功能強大、精密且可靠的蝕刻器/asher,專為各種材料的復雜操作而設計。其直觀的設計、與不同基板的兼容性,以及強大的高級自適應蝕刻,使其非常適合自動化系統和手動使用。