二手 PLASMATHERM PLASMA903e #9282870 待售

PLASMATHERM PLASMA903e是為滿足先進的等離子體蝕刻和灰化要求而設計的等離子體蝕刻器/灰化器。憑借其尖端的工程設計,PLASMA903e提供了精確、可靠的蝕刻和灰化效果,並保證了終身性能。PLASMATHERM PLASMA903e配備了真空室、射頻功率和高流量輸送設備，用於更精確的蝕刻和灰化。先進的功率、過程和真空控制系統允許進行總蝕刻和灰化過程,從而確保最大的生產效率。實現了流程自動化和ECN數據反饋單元,為用戶提供了方便和流程可重復性.蝕刻機是一種非常精確可靠的機器。精密刻蝕精密度± 2%的深度刻蝕和灰泥，是理想之選。蝕刻器/灰化器被封閉在一個高度耐用的密封室中，該密封室用最先進的不銹鋼和PEEK材料設計，可以承受極端的溫度、化學腐蝕和物理沖擊，在惡劣的條件下保存工件。該機配有計算機操作的多流程控制器，為用戶提供方便和流程可重復性。采用自動工藝冷卻機實現了工藝室和基板的快速均勻冷卻，實現了一致的蝕刻和灰化質量。此工具還可實現快速冷卻時間和提高生產效率。PLASMA903e還具有直徑從1「到12」的晶片操作範圍。它的最大真空速率為1000mTorr,均勻度在20% ±以內,可在高達450°C的溫度下操作。該機器能夠以高達0.15微米/秒的蝕刻速率向基板輸送優質材料。這種高性能的蝕刻器/asher提供了一個非常精確的過程，而不必犧牲性能。所有這些功能結合在一起,使PLASMATHERM PLASMA903e滿足高科技蝕刻和灰化需求的完美解決方案。