二手 PLASMATHERM SL 730 #9132973 待售

PLASMATHERM SL 730是一種先進的蝕刻和灰化技術，旨在滿足工業和科學半導體器件制造中多種應用的需要。它為金屬、聚合物、SiC和其他半導體材料的蝕刻和灰化提供了高通量和精密處理。SL 730包括一項專利的嵌入式多級等離子體工藝技術，包括獨特的多陽極電感耦合等離子體工藝。這與標準的單級平面晶片技術相結合。此高級配置確保了最高精度的蝕刻和灰化性能。該設備可用於批處理和連續批處理模式。6"晶片的批處理在標準反應堆配置中是可能的。反應堆的壓板尺寸還可以容納8「和12」晶圓。連續模式允許以高達24個ICPR/小時的速度生產大量優質產品。PLASMATHERM SL 730可以集成到多種半導體工藝系統中。采用低噪聲屏蔽、旁路技術和先進的溫度控制技術，具有堅固的工藝穩定櫃設計。SL 730可實現金屬、聚合物和半導體的高精度、高通量蝕刻和灰化。它利用先進的ICP來確保基材對材料的吸收最小，並實現資源的最佳利用。它提供了更大的工藝可擴展性與一個大腔室，可以容納批量8「和12」晶片在批量和連續模式。此外，它的專利嵌入式技術和低噪聲屏蔽確保了有效的除塵和可再生的過程控制，一致的結果。