二手 PLASMATHERM SL 730 #9196400 待售

ID: 9196400
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
PECVD System, 6" CVD Processor USG 1990 vintage.
PLASMATHERM SL 730是一種蝕刻器/灰化器設備,旨在幫助等離子體蝕刻和灰化過程,應用於研究、開發和生產的各個行業。它是高成品生產中各種材料的經濟高效/高精度蝕刻和灰化的先進工具。SL 730的關鍵特點是其高性能微波發生器、高硬件兼容性、高吞吐率、高工藝穩定性、準確性。高性能微波發生器允許最大蝕刻和灰化速度為每分鐘3.5厘米²,導致吞吐量速度比傳統方法快20倍。這也可以實現高度的工藝穩定性和準確性,無論材料如何,都能生產可重復性高達5 µm的零件。該系統還與廣泛的材料兼容,包括鋁、矽、鈦、鎢、玻璃和塑料,使其在使用各種材料和產品設計時具有高度的通用性。它還具有長而低的維護壽命,最多10年,為低能耗而設計,允許高效運行。PLASMATHERM SL 730還配有一系列外圍設備,以增強設備的能力。其中包括一個可調氣箱、自動補源功能、方便處理的雙晶片裝載機以及多種蝕刻和灰化工具。這使得用戶能夠準確和一致地蝕刻和灰分材料,即使在高容量。SL 730非常適合任何需要高性能、精確的蝕刻機/asher機的人,具有適合大批量生產和研究的能力。它可靠,維護程度低,可用於高精度的廣泛材料蝕刻和粉刷,是多樣化應用的理想選擇。
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