二手 PLASMATHERM SLR 720 / 720 #293654493 待售
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ID: 293654493
優質的: 1998
Dual chamber Reactive Ion Etch (RIE)
Robot loader
(9) MFC
Turbo pump
RF5S RF Generator, 500 W, 13.56 MHz
Does not include roughing pump
PC Controller with graphical user interface
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
1998 vintage.
PLASMATHERM SLR 720/720是一款功能強大的高端蝕刻器/asher,專為滿足最苛刻的工業要求而設計。這款卓越的蝕刻器/asher提供了許多一流的特性和功能,一定能滿足現代工廠的所有需求。SLR 720/720用途廣泛,可處理Si、Al、Cu、Ni、Ta等多種基材。該機配備了高級多環境溫度控制系統,使其能夠在200 °C至500 °C的溫度範圍內工作。這樣可以確保保持每種特定材料和工藝的最佳溫度。PLASMATHERM SLR 720/720旨在以最高精度、速度和可重復性產生優異的效果。它提供從0.2µm到7.0µm的激光服務窗口,或者對於某些材料小到0.1µm,並具有0.05µm的精細精度。此外,該程序允許存儲和召回多達500種不同的食譜。機器還有一個Process Navigator,它可以根據配方自動設置蝕刻深度,從而節省批處理運行的時間。SLR 720/720密封嚴密,采用先進的不銹鋼真空室,確保清潔蝕刻工藝,汙染和接觸煙霧最少。它包括一個帶有蝕刻深度傳感器的動態分析系統,根據配方自動調整激光功率,以確保準確的結果。它還具有包括自動關機和低溫警報在內的一系列安全功能。這些措施確保在處理有害物質和材料時的最高安全水平。PLASMATHERM SLR 720/720是一款非凡的蝕刻器/asher,旨在以最高的精度、速度和可重復性提供卓越的效果。它具有處理各種基材的能力,精確度和可重復性很好,並提供對有害材料的保護。SLR 720/720憑借其先進的特性和高端性能,是現代工業應用的完美選擇。
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