二手 PLASMATHERM SLR 720 / 720 #9124178 待售

PLASMATHERM SLR 720/720是一款高性能的蝕刻器/asher,專為需要高通量和高精度蝕刻和灰化的廣泛應用而設計。該設備采用智能自學機器人控制設備，不斷調整工藝參數，以優化各種基材、基材形狀和蝕刻深度的效果。使用SLR 720/720使蝕刻和灰化解決方案比以往任何時候都更容易、更快、更準確。PLASMATHERM SLR 720/720基於工業機器人系統，可以配置一系列專用的多功能工具，可以安裝在機器人手臂上。此單元提供高度定制,以適應不同的應用程序和流程要求。它與用於不同蝕刻和灰化解決方案的各種分辨率和特定於應用程序的軟件包兼容。蝕刻和灰化過程,包括配方優化、過程控制以及底物的裝卸,僅通過軟件界面進行管理。SLR 720/720具有先進的零件處理機,可快速精確地裝載、卸載和對齊基板。最常見的解決方案包括負載鎖定和蠕動處理系統。機器人工具進一步確保了對蝕刻和灰化工具的精確控制，並針對每種基材適當調整了工藝參數。PLASMATHERM SLR 720/720支持廣泛的容量和工藝變體。這包括加熱室技術、雙氣團、等離子體熄滅、PECVD，以及RIE/ICP、三頻、ALD、CVD、Sub-Micron Etcher等蝕刻和灰化技術。此外，它還支持控制化學品的添加和去除，以及在線配方。SLR 720/720由三個基本部件組成。第一個是控制櫃，它裝有機器人控制和處理所需的所有組件。二是蝕刻和灰化室，由內置噴嘴、法蘭和清潔資產組成。最後一部分是蝕刻和灰化模型，其中包括所有必需的工具，如激光劃線、口罩和檢測器，以及氣體盒。PLASMATHERM SLR 720/720提供了蝕刻和灰化功能的獨特組合,使用戶能夠以較高的材料利用率和工藝效率對薄和厚基板進行蝕刻和灰化。此設備非常適合實驗室和其他需要高性能蝕刻和灰化解決方案的應用。