二手 PLASMATHERM SLR 720 #9123968 待售

PLASMATHERM SLR 720是一款等離子蝕刻器/asher，設計用於高級材料的精密蝕刻和灰化。SLR 720具有高速度、精確度和均勻性的蝕刻和灰化能力，是半導體行業內各種蝕刻和灰化應用的理想選擇。PLASMATHERM SLR 720是一種高通量設備，標準蝕刻速率高達800 nm/min。它還具有利用雙室發動機和四通道射頻發生器的高效等離子體源。這使得高性能的蝕刻過程具有低離子能量和出色的均勻性橫跨晶片。此外，SLR 720還有一個先進的控制系統，使用戶能夠輸入和控制用戶定義的參數。這些參數包括蝕刻和灰化參數、射頻發生器設置和腔室壓力。PLASMATHERM SLR 720包含易於使用、直觀且用戶友好的圖形用戶界面（GUI），允許對蝕刻和灰化過程進行完全控制。它還包括一個3D可視化工具，允許用戶實時查看蝕刻和灰燼過程，提供跨晶片增加的穩定性和均勻性。SLR 720使用幹燥、低壓（DLPO）工藝進行蝕刻和灰燼處理。這一過程利用高氣體流量來夾帶離子和反應性氣體，從而允許更高的蝕刻和沖刷吞吐量以及更快的處理時間。PLASMATHERM SLR 720還具有氣體和壓力安全監控、自動氣體關閉、歧管控制單元等多種先進的安全功能。這使得它適合在各種安全關鍵應用中使用。總體而言,單反720是半導體行業各種蝕刻和灰化應用的理想選擇。憑借其高性能、高速、準確的運行，對於尋求一致效果和可靠性能的行業來說，它是一個可靠的選擇。